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减薄机(RG200)

减薄机(RG200)
  • 品牌:
  • 产地:江苏
  • 关注度:8
  • 型号:RG200
  • 报价:面议
核心参数
  • 仪器种类:实验室
  • 测定原理:其它
  • 测定范围:0.01~5mg/L
  • 测定准确度:±1%
  • 检出限 :≤0.005mg/L
  • 测定时间:30样品/小时
  • 批处理量:不限
产品介绍

减薄机(RG200)

设备特点:

适用于4/6/8/寸品圆or化合物半导体的磨削加工

配置高功率气浮主轴,可应对碳化硅/氮化镓品圆的磨前加工

最薄可将品圆加工至100um,同时保持TTV≤1.5um

配置非接触式对中机构,降低夹持品圆破片风险

SECS/GEM标准配置,方便客户导入ERP管控设备

非接触式测量探头,可应对SOI衬底及bonding wafer加工,精确控制最终厚度

软件自主团队开发,开放设备调试权限面向用户,客户放心维护设备


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