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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
晶圆再生片单片清洗设备（GMC-12RSC）
设备特点：
可适用于8寸或12寸晶圆清洗
配有可设置温度氮气干燥
多种药液高精度流量控制，温度控制
可进行药液回收，增加药液利用率
最多可配置8套清洗腔体
可配置多种药液氢氟酸，臭氧水等
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吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司
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