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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
单片清洗设备（GMC-12SC）
设备特点：
叠堆设计最高可配置12个腔室
上下层传送系统提供多达350wph的吞吐量
可配置可正背面清洗，药液种类多达5种，可回收2种药液
腔体可配备二流体雾化喷嘴
腔室可将化学飞溅降至最低，确保腔体清洁晶圆加工环境
腔体超洁净空气动态平衡均一性好
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吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司
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