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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
针对3D IC工艺需求，基于先进设计理念推出的全自动减薄抛光清洗一体机，具有优异的TTV，WPH及洁净度表现，为用户提供丰富的工艺弹性。
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