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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品性能：
2~12寸晶圆工艺，5~25片/批
占地面积小，水平多管/垂直单管
200～1300℃/1400℃/2200℃（高温）
青岛华旗科技有限公司
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2~12寸晶圆工艺，5~25片/批
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