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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品性能：
※ 满足4~12吋晶圆工艺
※ 通用型～1300℃/高温型～1350℃/快速升降温型水冷却型
※ 优质材料，如KANTHAL A-1、APM等全系列氧化扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体，满足4"、6"、8"、12"晶圆制造工艺。
青岛华旗科技有限公司
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