特气柜（气瓶柜）、气瓶架、配比柜等：半导体制造业易燃、易爆、腐蚀性、高纯等特气供应配比系统。配气及综合控制系统，通过计算机远程终端显示气瓶柜/气瓶架/配比柜等的运行状态及实时数据，将各种特种气体精确、安全的、按工艺要求的压力和流量等供应至工艺设备，确保气路系统安全、高效运行。