青岛华旗科技有限公司专业的半导体工艺设备及***材料专用设备研发、制造厂家。主要产品系列：扩散炉、氧化炉、LPCVD化学气相沉积、HVPE晶体生长、真空炉及半导体废气处理等。致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供***的专用设备,工艺含盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空烧结等工艺。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等，高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等)，同时承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。华旗科技