江苏容道社半导体设备科技有限公司

江苏容道社半导体设备科技有限公司总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区BGT园区内，占地面积5000+平米；拥有专业的黄光生产实验区以及半导体设备生产组装及测试车间；拥有一支能与时俱进、紧跟行业技术发展并能不断创新的技术与产品研发团队；容道社已形成自主可控的I线、G线、H线光刻机、匀胶机、显影机、匀胶显影一体机、金属剥离去胶机、湿法刻蚀机、湿法清洗机等冷热处理与客制化需求等设备产品系列与独立模块产品，可适应不同工艺等级的客户要求；容道社自主产品已通过客户现场验证实现晶圆上料、工艺传送、匀胶、光刻、显影、金属剥离去胶、刻蚀，清洗等一系列生产工艺链条流程化实现缺陷联防达到工厂自动化、信息化、智能化。

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主推产品

RB12槽式清洗机

型号：RB12

产品特点主要用于去除晶圆表面有机物、氧化层、颗粒、金属，清洗过程搭配兆声波、IPA干燥，达到一个良好的验收指标。排风口：通过外径为φ270mm的法兰与用户生产线上的通风系统相连接，以排出挥发的废气。

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RS12全自动去胶剥离机

型号：RS12

晶片尺寸：12吋(兼容12吋以下)设备配置：浸泡、去胶、清洗三个功能单元设备产能：依工艺条件而定衬底材质：Si、Glass、Sapphire、GaAs、lnP、GaN、SiC等线宽：≥1um适用工艺：PADliftoff应用领域：LED、IGBT、VCSEL、MEMS、IC及其它制程温度控制：设定温度±2℃离心电机：最高空载转速4500rpm、最小调整量1rpm、精度±2rpm工业安全：设备运行视频监控、火焰监测CHUCK：多点支撑、边缘限位金属回收：6级过滤+2级沉淀机器人转轴：6轴(A1/A2/A3/A4/Z/θ)晶片对中：自动机械对中(MCA)控制系统：工控机、17“触摸屏(可按客户需求

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