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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
分辨率：1.5μm
数值孔径：0.158
曝光波长：i线 （365nm） ,h线 （405nm） ,g线 （436nm）
掩模版尺寸：5/6/7吋
wafer尺寸：4/5/6吋
产率 （Throughput）：100WPH
对准精度：3σ ≦ 0.6 μm
焦深 （DOF）：6-8μm
光强均匀性：<3%
占地面积：<4m2
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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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