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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品特点
● 适用于宽2000mm以内玻璃片的显影清洗工艺；
● 产品主机由上料单元、显影单元、清洗单元、风干单元、下料单元组成；
● 设备支持SEMI GEM标准；
● 采用多种安全保障措施和安全装置；
● 采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单，工艺全过程直观、全面显示，互动性强；
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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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