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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
腔体材质：铝合金
射频电源：0-500W可调
射频频率：25KHz
真空度：≤100Pa
气体路：单路
气体流量：0.1-1L/Min
清洗时间：0-999秒可调
内腔尺寸：Φ147mm*145mm（可定制更大尺寸）
真空泵：飞越-4
电源输入：AC220V
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江苏容道社半导体设备科技有限公司
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