产品特点

主要用于去除晶圆表面有机物、氧化层、颗粒、金属，清洗过程搭配兆声波、IPA干燥，达到一个良好的验收指标。排风口：通过外径为 φ270mm 的法兰与用户生产线上的通风系统相连接，以排出挥发的废气。