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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品描述
该产品为全自动/半自动外观检测系统，专用于无图形衬底/有图形外延晶圆表面各类微观缺陷的高效识别与分类。
全自动设备支持自动上下料、宏观件和微观检集成，自动检测与缺陷分类，有效替代人工目检，大幅提升出货品质管控效率。
应用
1、外延厂对衬底晶圆的来料检验
2、外延后制程品质管控检验
检测方式
非接触视觉自动检测
适用产品
GaAs， GaSb， InP衬底和外延
相机规格
4K5um线扫相机
物镜倍率
10X、20X
像素解析度
0.5μm/0.25μm
检测精度
2μm/1μm
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泰微科技（珠海）有限公司
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