产品描述    

1、该设备为全自动陶瓷基板翘曲度精密测量系统，专用于陶瓷基板表面三维形貌的高精度扫描与翘曲量化评估。

2、设备使用高精度运动平台与专业分析软件，可快速获取基板全表面高度数据，自动计算翘曲度、平面度及厚度等关键形貌参数，为工艺优化与质量判定提供可靠数据支撑。

应用    

1、陶瓷基板为泛半导体应用，其下游领域涉及光纤通信、电子电器、新能源汽车、机械工程、航空航天、军事设备等方面的广泛应用。

2、其量测覆盖适配氧化铝（Al2O3）、氮化铝(AlN)、氮化硅（Si3N4）等陶瓷基板，对该行业上游质量管控自动化和数据化管理具有重要意义。