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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
检测方式 非接触式光学传感器
适用产品 化合物半导体晶圆(SiC、InP、GaAs、GaSb等)
固定方式 平面支撑，真空吸附
晶圆规格 2~8寸，可扩展至12寸 (12寸需定制开发)
重复精度 0.1μm 3sigma (TTV,LTV)
检测精度 0.1μm
输出形式 直观的数据+2D或3D图形方式呈现
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泰微科技（珠海）有限公司
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