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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品描述
该产品为全自动/半自动外观检测系统，该设备针对化合物半导体晶圆外延工艺过程中产生的缺陷检测（包括划伤、凸起、凹坑、颗粒、脏污、异色等等）
应用
1、外延厂对衬底晶圆的来料检验
2、外延后制程品质管控检验
检测方式
非接触视觉自动检测
适用产品
GaAs， GaSb， InP衬底和外延有图形及无图形的表面缺陷
相机规格
4K5um线扫相机
物镜倍率
20X
像素解析度
0.25μm
检测精度
1μm
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泰微科技（珠海）有限公司
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