产品描述    该设备适用于陶瓷基片/基板，基于多通道光学成像方案，实现高效率、高准确性的外观缺陷检测，规避人检过漏检及数据追溯和统计。    

应用    

1. 陶瓷基板为泛半导体应用，其下游领域涉及光纤通信、电子电器、新能源汽车、机械工程、航空航天、军事设备等方面的广泛应用。

2. 其量测覆盖适配氧化铝（Al2O3）、氮化铝(AlN)、氮化硅（Si3N4）等陶瓷基板，对该行业上游质量管控自动化和数据化管理具有重要意义。

检测方式    非接触视觉自动检测    

适用产品    60*70,60*90 等多种尺寸 （可根据产品尺寸定制开发）    

相机规格    线扫相机（可选配各高精度相机选型）    

检测效率    ≥ 50pcs/min (依据产品尺寸会有浮动）    

检测面        产品正反面同步检测    

检测精度    ≥12μm（配合相机选型）