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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
应用领域：主要用于生产6-12英寸碳化硅单晶衬底。
产品描述
| 参数项目 | 技术指标 | ||
设备型号 | SCMP460 | SCMP570 | SCMP670 |
设备尺寸 | 1356x4000x3300mm | 1356x2400x3360mm | 1426x2600x3900mm |
适用衬底尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 长晶方法 | PVT | ||
| 最高使用温度 | 2400℃ | ||
| 真空系统 | 极限真空5x10-4Pa，压升率≤5Pa/12h | ||
| 气路系统 | 气体类型：Ar、N₂、H₂等 | ||
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南京晶升装备股份有限公司
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