浙江晶盛机电股份有限公司
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晶盛机电围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备,并延伸至化合物衬底材料领域,为半导体、光伏行业提供全球极具竞争力的高端装备和高品质服务。晶盛机电是全球光伏装备技术和规模双领先的企业,国内集成电路级8-12英寸大硅片生长及加工设备领先企业,公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术已达到国际领先水平,是掌握核心技术和规模优势的龙头企业。公司为半导体产业、光伏产业和化合物衬底产业提供智能化工厂解决方案,满足客户数字化智能化的生产模式需求。
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主推产品

蓝宝石
型号:JSG-95

全球蓝宝石领域技术和规模双领先企业,大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术达到国际领先水平

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碳化硅衬底
型号:JSG-30

第三代半导体材料晶盛机电掌握行业领先的8英寸碳化硅晶体生长技术,具备自主可控的大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术

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8英寸「单片式硅外延生长炉』
型号:JSG-163

晶盛机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉,可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长,结构可靠稳定,有较好的膜厚和电阻均匀性

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蓝宝石

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碳化硅衬底

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