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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品性能:
*垂直结构，高效产能，150片/批
*稳定优良的成膜均匀性，重复性好
*微环境低氧控制**技术
*硅片颗粒度控制稳定，国际标准
*全自动流程，盒对盒，AGV对接
配套工艺:
*氧化:干氧/湿氧(DCE,HCL)*氮、氢退火，烧结、合金，固化等*快速热退火
青岛华旗科技有限公司
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