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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
技术参数：
晶圆尺寸：4-6英寸
适用材料：硅
适用工艺：SIPOS、POLY、SI3N4、PSG、LTO、TEOS
适用领域：集成电路、半导体、硅基微型显示
设备特点：
高精度的电脑控制技术，全程监控工艺
软件可延伸开发MES和SECS功能
设备主要配件全部选用国际主流知名品牌
优良的薄膜均匀性
先进的控制软件操作系统
上海微世半导体有限公司
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