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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
技术参数：
晶圆尺寸：6-8英寸
去边精准度：0.6mm
标准配置：按半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行
适用领域：硅、碳化硅等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺
设备特点：
两套机械吸盘自动上下料
由机器人把硅片从上料端运到下吸盘，自动对位人机界面
控制部分采用进口品牌PLC和HMI
所有可能与酸雾接触的电器及线路均经PFA防腐隔绝处理
机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧
上海微世半导体有限公司
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