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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
技术参数：
处理原理：干法吸附式
气体最大处理流量：200SLM
控制系统：PLC
适用工艺：MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备
适用领域：高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体
设备特点：
吸附剂更换简单、成本低廉
处理效率高，吸附能力强
售后服务简易，设备故障率低
安装空间占用面积小，节省空间
设计有应急备用桶，主桶异常时可自动切换至应急吸附桶处理
具备入口压力监测、出口压力监测、温度检测等功能，均有安全连锁程序
上海微世半导体有限公司
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