技术参数：

晶圆尺寸：3-6英寸（圆形或方形）

喷头控制精准度：≤0.2mm

旋转精准度：≤1-4%

最高转速6000rpm

加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节

涂布均匀性好：片内≤0.04μm，片间≤0.08μm

设备可靠性高：MWBF（平均故障间隔）≥10000片

适用领域：集成电路、半导体、硅基微型显示

设备特点：

标准盒存放片，自动上下料

双规设计，提高生产效率

传动方式通过皮带传片（86式），手臂传片（88式）

主轴使用高速伺服电机，带数字显示，精确控制转速

控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护

喷淋显影两路液罐，一路氮气。也可由客户工艺配置液路和气路