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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
技术参数：
晶圆尺寸：4-8英寸
适用材料：光刻胶, PI
适用衬底：硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、铌酸锂
适用工艺：高温去胶， 低温去胶，表面处理、去碳膜
适用领域：硅基半导体、科研、化合物半导体、功率半导体
上海微世半导体有限公司
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