Stellar Serial HT系统即HT-MOCVD，高温金属有机化学气相沉积（High Temperature Metal-Organic Chemical Vapor Deposition），是一种在半导体制造领域广泛使用的技术，特别适用于氮化铝（AlN）等高温稳定材料的生长。

应用领域：深紫外LED：HT-MOCVD技术在深紫外LED（特别是波长在300nm以下的LED）的产业化中发挥着重要作用。它可以用于生长高质量的AlN厚膜，这些厚膜是深紫外LED器件的关键组成部分。光电/电子器件：除了深紫外LED外，HT-MOCVD技术还可以用于制造其他基于AlN的光电/电子器件，如紫外探测器、光传感器等。

产品特点

—   衬底规格：50mm

—   工艺温度：20-1600℃

—   典型生长材料： AlN、AlGaN、BN

—   前驱体：TMGa、TMAl、有机B源、预留1路氨气、硅烷

—   气路漏率：≤ 1.0*10-9 mbar*l/s