Aurora Serial ⅠALD系统是高产量ALD的代表，通过独家**的特殊进气设计满足高产量、高质量的双重标准，整体模块化设计也简化了维护形式，缩短了维护时间，让客户拥有更有效的生产时间。 此款系统是采用手动装载Wafer形式，为此我们设计了快速装载工具，大大节省了装载时间，此外，充分考虑了各种尺寸和类型Wafer载具的便捷更换，在人机交互方面，我们提供了简洁、友好，易于操作的软件系统，这也使得此系统能让操作者快速熟悉和掌握。